反射鏡主要用于光束轉(zhuǎn)折、干涉測量、成像及照明場景,以表面拋光的玻璃或金屬為基體,通過鏡面反射實現(xiàn)光路調(diào)控。
為提升反射效率,基體表面常鍍反射膜,主要分為兩類:
金屬膜:常用鋁、銀、金等材料。鋁膜在紫外至紅外區(qū)反射率高,且表面易形成氧化鋁層,膜層牢固穩(wěn)定;銀膜在可見及紅外區(qū)反射率優(yōu),入射角變化引入的偏振效應??;金膜紅外區(qū)反射率高,強度與穩(wěn)定性優(yōu)于銀膜。金屬膜較軟易劃傷,通常需加鍍保護膜,且其對入射角不敏感,可在較寬波長范圍內(nèi)使用,能滿足多數(shù)光學儀器需求。
多層介質(zhì)膜:適用于更高反射率需求場景,可提升反射率并降低吸收損失。其反射效率受入射角與波長影響,常規(guī)會標注適用入射角(0° 或 45°)及特定工作波長范圍。
技術(shù)特點和優(yōu)勢:
·193/266/450/633/780nm及其他指定波長鍍膜
·在 193nm 波長條件下,反射率可達到 97% 以上
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